SCTPF-PE-MP Series

"極少量の流量測定が可能。
化学薬品, 超純粋等の流体測定に使用。
半導体の混合工程装備に主に使用。"

Fluid Chemicals, D.I Water
Operating Pressure 0.6 ~ 5 Kgf/㎠
Operating Temperature 0 ~ 60 ℃
Material of Body PTFE
Connection Type Pillar Super 300 Type
Connection Size
Accuracy ± 1%RD (± 0.5%FS)
Repeatability ± 1%
Power DC 24VDC
Output Signal 0~5V, 4~20mA(BCD, RS232C, RS485)
Other
サイズ 1/4 3/8 1/2 3/4 1/1 1.1/4 1.1/2 2/1 2.1/2 3/1
仕様書
2D
3D